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ALD(Atomic Layer Deposition 원자층 증착 공정 시장조사보고서
- 테헤란씨씨 저
- 테헤란씨씨
- 2018년 09월 04일
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정가60,000원
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ISBN: 9791196184704
118쪽
118g
188 x 257 (㎜)
지금 이책은
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책 소개
목차
I. Introduction 1
1.1 ALD의 정의
1.2 ALD의 장단점
II. ALD 응용분야 10
2.1 반도체 다이오드
1) 트렌지스터
2) OLED 디스플레이
3) 메모리 소자
4) DRAM
5) NAND Flash Memory
2.2 Thin Film과 배터리
2.3 ALD와 광학 랜즈
2.4 정수처리
III. 세계 시장 동향 36
3.1 Overview
3.2 대륙별 시장 점유
3.3 중국 시장
3.4 중국제조 2025(Made in China 2025)
IV. ALD와 반도체 제조 분야 44
V. 전구체 시장 46
VI. 전구체 종류 49
6.1 금속박막용
1) 수소화물 전구체
2) 할로젠화물 전구체
3) 알킬 전구체
4) 시클로펜타디엔일 리간드 전구체
5) 알콕사이드 전구체
6) 아마이드 & 이미드 전구체
6.2 비금속 박막용
1) 산소
2) 질소
3) 탄소
4) 불소
5) 황, 셀레늄, 텔루륨
6) 인, 비소, 안티몬
VII. ALD 장비 벤더\t59
7.1 국내 벤더
7.2 해외 벤더
VIII. 전구체 벤더 70
IX. 기업 소개 및 주요 제품 75
9.1 국내 제품
9.2 해외 제품
9.3 전구체 제품
X. 관련 특허 101
10.1 국내 특허
10.2 해외 특허
XI. 참고문헌 118
1.1 ALD의 정의
1.2 ALD의 장단점
II. ALD 응용분야 10
2.1 반도체 다이오드
1) 트렌지스터
2) OLED 디스플레이
3) 메모리 소자
4) DRAM
5) NAND Flash Memory
2.2 Thin Film과 배터리
2.3 ALD와 광학 랜즈
2.4 정수처리
III. 세계 시장 동향 36
3.1 Overview
3.2 대륙별 시장 점유
3.3 중국 시장
3.4 중국제조 2025(Made in China 2025)
IV. ALD와 반도체 제조 분야 44
V. 전구체 시장 46
VI. 전구체 종류 49
6.1 금속박막용
1) 수소화물 전구체
2) 할로젠화물 전구체
3) 알킬 전구체
4) 시클로펜타디엔일 리간드 전구체
5) 알콕사이드 전구체
6) 아마이드 & 이미드 전구체
6.2 비금속 박막용
1) 산소
2) 질소
3) 탄소
4) 불소
5) 황, 셀레늄, 텔루륨
6) 인, 비소, 안티몬
VII. ALD 장비 벤더\t59
7.1 국내 벤더
7.2 해외 벤더
VIII. 전구체 벤더 70
IX. 기업 소개 및 주요 제품 75
9.1 국내 제품
9.2 해외 제품
9.3 전구체 제품
X. 관련 특허 101
10.1 국내 특허
10.2 해외 특허
XI. 참고문헌 118
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